ОАО ИНТЕГРАЛ


Аналитическое оборудование

Государственный Центр «Белмикроанализ» оснащен современным компьютеризированным аналитическим оборудованием для проведения качественного и количественного анализа состава материалов, исследования структурно-морфологических и электрофизических характеристик изделий микроэлектроники и других объектов

Вторично-ионный масс-спектрометр IMS-4F 
ф. Cameca (Франция) обеспечивает: 

Анализ элементного состава поверхности и распределение элементов по глубине (от H до U).

Разрешение по глубине 5 ~ 30 нм.

Чувствительность 1012 ~ 1016 ат/см3

Энергодисперсионные спектрометры типа AVALON 8000 ф.PGT(США) и AN 10000 ф.Link Analytical (Англия) 
в комплексе с РЭМ Stereoscan-360 
ф. Cambridge Instruments (Англия) 
обеспечивают:

Анализ элементного состава (от B до U).

Чувствительность 0,1 атом.%. 

Локальность 1мкм2

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения S-4800 ф.Hitachi (Япония) обеспечивает:

Съемку микрорельефа поверхности и поперечных сколов образцов.

Увеличение 20 ~ 800.000x.

Разрешение до 1 нм.

Ускоряющее напряжение 0.1 ~ 30kV.

Измерение линейных размеров микрообъектов ≥ 0.05 мкм 
с погрешностью 5%.

Максимальный размер образцов – 200х200х2мм3

Электронный Оже спектрометр PHI-660 ф. Perkin Elmer (США) обеспечивает:

Анализ элементного состава поверхности и распределение
элементов по глубине (отLi до U).

Разрешение по глубине 3 нм.

Локальность 0,1 мкм.

Чувствительность 0,1 ~ 1,0 ат.%.

Растровый электронный микроскоп высокого 
разрешения S-806 ф.Hitachi (Япония) обеспечивает:

Съемку микрорельефа поверхности и поперечных сколов 
образцов с увеличением до 100 000x и разрешением 
до 4 нм.

Измерение линейных размеров микрообъектов 0,1 мкм с 
погрешностью 5%.

Спектральный комплекс на базе монохроматора-спектрографа MS-2004i обеспечивает:

Анализ спектральных характеристик 
(спектральную чувствительность, относительную
спектральную чувствительность, обнаружительную
способность, квантовую эффективность и др.) 
фотодиодов при напряжении смещения 
от U=0В до U=1100В

Программно-аппаратный комплекс для 
получения цифровых изображений в составе:

Оптического микроскопа Leica INM100. 

Цифровой камеры DS-Fi1

Прецизионного автоматизированного сканирующего столика 200х200 мм с блоком управления LSTEP13. 

Графической станции.

Приставка УФ – диапазона с увеличением до 6000х.

Принтера HP Color LaserJet 2605

Штатива для макросъемки (Copy Stand).

Обеспечивает:

Получение цифровых, "сшитых" из большого количества кадров (до 1000 шт.), видеоизображений 
топологии слоев ИМС и других объектов с минимальным размером элемента более 0,5 микрона

 Анализ дефектообразования в полупроводниковых структурах.

Анализ отказов ИМС.

Измерение геометрических размеров элементов топологии



Спектрофотометры: MPV-SP ф.Leica (Германия)
ИК-Фурье спектрометр ф.Bruker (Германия) 
обеспечивают:

Анализ оптических характеристик материалов, 
толщин тонких пленок в диапазоне длин волн 
λ = 0,2 ~ 33 мкм с локальностью до 55 мкм2 (для 
λ = 400 ~ 800 нм).

Качественный и количественный сравнительный
анализ состава оптически прозрачных 
материалов

Программно-аппаратный комплекс прецизионных электрофизических измерений Обеспечивает решение следующих задач:

Аттестация технологического процесса производства ИМС 
по термополевыем испытаниям, надежность диэлектриков
по заряду пробоя, надежность МОП транзисторов по 
воздействию горячих электронов.

Анализ технологического брака и отказов ИМС на основе 
изучения электрофизических свойств объектов (ВАХ, ВФХ)
с возможностью разделения топологии на отдельные 
элементы.

 Измерения ВАХ, ВФХ тестовых элементов для экстракции 
SPICE параметров и в исследовательских целях.

 Исследования э/ф. параметров материалов и структур на 
основе ВАХ и ВФХ, таких как удельное, поверхностное 
сопротивление, в т. ч. антистатических материалов, 
широкий спектр параметров МОП структур (зарядовые 
состояния, в том числе и подвижные, профиль 
легирования кремния и проч.) 

Консультации

Отдел перспективного маркетинга:
Тел.                       + 375 17 398 1054
Email: markov@bms.by
ICQ: 623636020
Бюро рекламы научно-технического отдела
Тел.                       + 375 17 212 3230
Факс:                     + 375 17 398 2181


Home Map

Back

Contact

Engl Russ

© Reseach & Design Center 2014